摘要(yao):讨論了金(jin)屬管浮子(zǐ)流量計 加(jiā)裝阻尼器(qi)在多晶矽(xi)生産中的(de)應用方案(àn),并對流📱量(liàng)計使👈用阻(zu)尼器前後(hòu)的效果作(zuo)了對比。
1金(jin)屬管浮子(zi)流量計的(de)工作原理(lǐ)及一般應(ying)用
　　轉子流(liú)量計 ,又稱(cheng)浮子流量(liàng)計,金屬浮(fu)子流量計(ji)由于其結(jie)構簡單，可(ke)靠性強,可(ke)輸出标準(zhǔn)信号,并能(néng)實現流量(liang)的指示、積(ji)算、記⛱️錄.控(kong)制和報警(jing)🚶‍♀️等多種功(gōng)能,所以在(zài)工，業🈲生産(chan)中被廣泛(fàn)應用。
1.1金屬(shǔ)管浮子流(liu)量計的工(gōng)作原理
　　金(jīn)屬管浮子(zi)流量計采(cai)用可變面(miàn)積式測量(liang)原理。llj 主要(yào)由三部❓分(fèn)組成:測量(liang)管、浮子.耦(ou)合指示系(xì)統。如原理(li)圖所示,相(xiàng)對應測量(liang)介質的某(mou)--流量。磁性(xing)浮子在測(cè)量管中對(duì)應🐇一個浮(fú)子位置📐.這(zhe)個浮子位(wèi)置通過指(zhǐ)示器中的(de)經過充磁(ci)的磁耦🐪合(hé)指示系統(tǒng)帶動指針(zhēn),由刻度盤(pan)和指針讀(dú)出相應的(de)流量㊙️計。也(ye)可配裝不(bu)同的轉換(huan)器.将流量(liang)值轉換成(chéng)标準的電(dian)遠傳信号(hào),從而實現(xian)遠距離顯(xiǎn)示、記錄、積(jī)算和控制(zhì)功能。金屬(shu)👉管轉子流(liu)量計在耦(ou)合指示系(xi)統的設計(ji)上可以爲(wei)各種應用(yong)場合提供(gong)可靠适用(yòng)的功能組(zǔ)合,如現🐉場(chǎng)指針顯示(shì)、LCD顯示瞬時(shí)和累計流(liú)量等。在指(zhi)示器供電(diàn)選擇方面(mian)有電池供(gong)電🏃🏻、24VDC供電、220VAC供(gòng)電,方式根(gēn)據現場🔴情(qing)況選擇。
 
1.2金(jīn)屬管浮子(zǐ)流量計的(de)一般應用(yong)
　　工業上常(chang)用的流量(liàng)計除了金(jīn)屬轉了流(liú)量計外，還(hái)有 差壓流(liu)量計 、 渦街(jiē)流量計 、 電(dian)磁流量計(ji) 、 超聲波流(liú)量計 、 渦輪(lún)流量計 、 橢(tuǒ)圓齒輪流(liú)量計 等。每(mei)種流量計(jì)在針對不(bu)同的被測(cè)流體、不同(tóng)的流㊙️動狀(zhuàng)态、不同的(de)測量場所(suo),各有其優(you)勢和劣勢(shi).比如在流(liu)速不同的(de)📐場合中,中(zhong)高流速下(xià)的流量測(cè)量已有孔(kong)闆.渦街等(deng)多種流量(liàng)計能夠實(shi)現🤞正确測(ce)量,而在較(jiào)低流速、較(jiào)高壓力的(de)流量測量(liàng)中,尤其低(dī)雷諾😄系數(shù)的情況👄下(xia).金屬管浮(fu)子流盤計(jì)就㊙️起到非(fēi)常重😘要的(de)作用。
 
2金屬(shu)管浮子流(liu)量計加裝(zhuāng)阻尼器在(zài)多晶矽生(shēng)産中的應(yīng)用㊙️
2.1阻尼器(qì)的工作原(yuán)理
　　使自由(you)振動衰減(jiǎn)的各種摩(mo)擦和其他(tā)阻礙作用(yòng)，我們稱之(zhi)爲阻尼。而(ér)可以提供(gòng)運動的阻(zu)力,耗碰運(yùn)動🐕能量的(de)裝置,我們(men)稱爲阻尼(ní)器。目前各(ge)種應用中(zhong)有:彈貧阻(zǔ)尼器、液壓(yā)阻尼器、粘(zhān)滞阻尼器(qì).氣阻尼器(qì)、電磁阻尼(ní)器等。
2.2金屬(shu)管浮子流(liu)量計在使(shǐ)用中出現(xian)的問題
　　轉(zhuǎn)子流量計(ji)在多晶矽(xi)生産現場(chǎng)使用過程(cheng)中,由于測(cè)量介質瞬(shùn)間流量過(guò)小或不穩(wěn)定、操作壓(yā)力低或不(bu)穩定,儀🤟表(biao)前後測量(liàng)管道内徑(jing)變化過大(da)，前後直🔴管(guǎn)段嚴重不(bú)符💞合使用(yòng)規定要求(qiú)，尤其是測(cè)量介質😄爲(wei)氣體等情(qíng)況下會造(zào)成流量計(ji)測量管内(nei)介質流🈲動(dong)極不穩定(dìng)💯,引起浮子(zi)發生跳動(dong)的現象。浮(fu)子的垂直(zhi)上下直線(xiàn)運動通過(guo)磁耦合系(xì)統傳遞、傳(chuan)化爲指針(zhen)軸的轉💜動(dong)運行,與指(zhi)針軸組合(he)成一-體的(de)指針轉❌動(dong)從而擡示(shi)介質的🈲瞬(shùn)時流量。流(liú)量計測量(liang)管中浮子(zi)發生的💃跳(tiào)動現象傳(chuán)遞給指🛀🏻針(zhen),就變成爲(wei)指㊙️針連續(xu)不停頓的(de)擺動現象(xiàng)，造成流量(liàng)指示不穩(wen)定,甚至💞根(gen)本不能讀(dú)取刻度值(zhí),确定瞬時(shí)流量數值(zhí)。如果現場(chǎng)出☁️現這種(zhong)現象,通常(cháng)的處理方(fang)法是分析(xi)造成指針(zhen)擺動的主(zhǔ)要原因,多(duo)數情況下(xià)從多晶矽(xi)生産工藝(yì)上采取措(cuò)施,改善介(jie)質流動狀(zhuang)況,從而減(jiǎn)少、避免指(zhi)針的擺動(dòng)。但是很多(duō)時候指針(zhen)擺動的頻(pín)率、幅度很(hěn)難從根本(běn).上避免、降(jiàng)低。
2.3氣阻尼(ni)器在金屬(shǔ)管浮子流(liu)量計中的(de)應用
　　在儀(yi)表測量管(guǎn)中加裝氣(qì)阻尼器成(chéng)爲解決浮(fú)子跳🔴動,指(zhǐ)🛀針擺動的(de)有效方法(fǎ)之一。該裝(zhuāng)置包括氣(qi)阻尼頭與(yǔ)氣阻尼套(tào),二者爲間(jiān)隙配合,二(er)者間形成(chéng)的腔體中(zhong)充滿測量(liang)介質,當浮(fú)子向上或(huo)向下運動(dong)時,測量介(jiè)質必須排(pai)出或進人(rén)腔體,由于(yú)阻尼🈲頭與(yu)阻尼套之(zhi)間間隙很(hen)小，測量介(jie)質排出或(huò)進人腔體(tǐ)的速🏃🏻度滞(zhi)後于浮子(zǐ)向.上或向(xiang)下運🈲動的(de)速度.從而(ér)起到阻尼(ni)效果,降低(di).浮子向.上(shang)或向下運(yùn)動的速度(dù),過低指針(zhen)擺動的頻(pín)率、幅度。
2.3.1氣(qi)阻尼器使(shi)用中需要(yào)注意的問(wèn)題。
　　現有阻(zǔ)尼裝置中(zhōng)的氣阻尼(ni)頭與阻尼(ní)套之間的(de)配合爲面(miàn)接觸.與流(liú)量計測量(liàng)管與介質(zhì)流動極不(bu)穩定,引起(qi)浮㊙️子發生(sheng)跳☎️動,加之(zhī)加工誤差(cha),常會使氣(qi)阻尼頭随(sui)浮子導向(xiang).杆産生偏(piān)移.導緻氣(qi)阻尼頭過(guo)快的磨損(sǔn)，嚴重時使(shǐ)氣阻尼套(tào)卡住,影響(xiǎng)阻🔆尼效果(guo),縮短氣阻(zǔ)尼裝置的(de)使用壽命(mìng)。
2.3.2解決方案(àn)。
　　爲了解決(jue)可能存在(zai)的不足,可(kě)采用了以(yi)下新技術(shù)。改變氣阻(zu)尼☁️頭與氣(qi)阻尼套之(zhī)間的配合(hé)方式,使之(zhi)配合的表(biao)♌面形🌍狀爲(wei)♍球面,球面(mian)的圓心在(zai)氣阻尼頭(tóu)與氣阻尼(ni)套配合的(de)中軸線上(shàng)💋,使氣阻尼(ni)頭與氣阻(zǔ)尼套之間(jiān)的配合爲(wèi)線性接觸(chu)🔞。當氣阻尼(ni)頭随浮子(zi)導向杆産(chǎn)生偏移時(shi),氣阻尼頭(tou)與氣阻♉尼(ni)套之間的(de)✌️配合始終(zhong)是線接觸(chù)，既可防止(zhi)氣阻尼頭(tóu)與氣阻尼(ní)套卡住.義(yì)📞使氣阻⭕尼(ní)頭磨損平(ping)均,延長了(le)氣阻尼裝(zhuāng)置使用壽(shou)命。
 
2.4電磁阻(zu)尼器在金(jīn)屬管浮子(zi)流量計中(zhōng)的應用
　　由(you)于轉子流(liu)量計的測(ce)量管爲機(jī)械結構.測(ce)量時對波(bo)動很🤞敏🙇‍♀️感(gan)☂️,經常會出(chu)現指針波(bo)動嚴重,甚(shen)至影響讀(dú)數的情況(kuàng)。除了在測(cè)量管中加(jiā)裝氣阻尼(ni)器之外,還(hai)可以在指(zhǐ)針組件中(zhōng)☂️增加電磁(ci)阻尼❄️器,使(shǐ)指針擺動(dòng)的頻率、幅(fú)度大幅度(du)降低，使指(zhǐ)針指示穩(wěn)定，刻度💔值(zhi)讀取變得(dé)🏃🏻容易，讀取(qu)精度更高(gāo)。
　　電磁阻尼(ni)器的工作(zuò)原理。電磁(ci)阻尼器由(yóu)磁鋼、連接(jie)件、金🌂屬⛹🏻‍♀️闆(pǎn)等組裝後(hou)爲一體。指(zhi)針的配重(zhong)爲導電金(jīn)屬鋁合金(jin),根據電磁(ci)♍感應定律(lü),配重在磁(ci)場中運動(dòng)，切割磁力(lì)線.必然産(chǎn)生感應電(diàn)動勢,從而(er)在配重中(zhong)産生渦電(dian)💁流;磁場對(duì)帶電導體(ti)👈必然産生(sheng)作用力,而(ér)此作用力(li)恰好起到(dao)阻礙配重(zhong)在磁場👣中(zhong)運動的作(zuo)用,配重運(yùn)動的速度(du)越大,産生(shēng)🌏的反作用(yong)也越大,其(qi)效果類似(si)于阻尼器(qi),從而使電(diàn)磁阻尼器(qì)起到降低(di)指⭕針擺動(dong)頻率、幅度(du)的作用.達(dá)到穩定📐的(de)💜效果。
 
　　與現(xian)有技術相(xiang)比，通過增(zēng)加電磁阻(zu)尼器裝置(zhi),可有效改(gai)善流量計(ji)的使用效(xiào)果，使指針(zhēn)的擺動頻(pin)率和幅度(dù)大幅度降(jiang)低，指針穩(wěn)📱定指示,刻(ke)度值的讀(du)取變🐇得容(róng)易，讀取精(jing)度提高✊,既(ji)提高了效(xiào)率也保證(zheng)了精度。

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