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  壓力(lì)傳感器基礎知識(shi)

  敏感元件是能夠(gòu)靈敏地感受被測(cè)變量并作出響㊙️應(ying)的😘元件。如:彈性膜(mo)盒能感受壓力的(de)高低而引起😍形變(bian),形變的程度就🏃🏻是(shi)對✊壓力高低的響(xiǎng)應,因此,彈性膜盒(hé)是一種壓力敏感(gan)元件。
    傳感器不但(dan)應該對被測量敏(mǐn)感,而且具有把它(tā)對被測量👅的響應(yīng)傳送出去的功能(néng)。也就是說,傳感器(qì)不隻是一般的敏(mǐn)感♻️元件,它的輸出(chu)響應還必須是易(yì)于傳送的物理量(liàng)。例如:上訴的彈性(xìng)膜盒的輸出響應(yīng)是形變,是微小的(de)幾何量,不便于向(xiàng)遠方傳送。如果把(ba)膜盒中心的位移(yi)轉變爲電容極闆(pǎn)的間隙㊙️變化,就成(cheng)爲輸出響應是電(diàn)容量的 壓力傳感(gǎn)器。 
    由于電信号便(biàn)于傳送,所以絕大(da)多數傳感器的輸(shu)出是電🚶‍♀️量的形式(shi),如電壓、電流、電阻(zu)、電感、電容、頻率等(deng)。 
    變送器是從傳感(gǎn)器發展而來的,凡(fan)能輸出标準信号(hào)的傳感器就稱爲(wèi)變送器。(标準信号(hao)是物理量的✌️形式(shì)和數值範圍都符(fú)合标準的信号。例(lì)如直流4~20mA)有了統一(yī)的信号形式和數(shù)值範🚶圍,就便于把(bǎ)各種變㊙️送器和其(qí)他儀表組成檢測(ce)系❓統或調節系統(tǒng)。 
    輸出爲非标準信(xìn)号的傳感器,必須(xū)和儀表或裝置配(pèi)套,才能☂️實📱現檢測(ce)或調節功能。爲了(le)通用性和靈活性(xing),某些傳感器的輸(shu)出可以靠轉換器(qì)把非标準信号轉(zhuan)😄換成标準信号,使(shi)之與帶有标準信(xìn)号的輸入電路或(huo)😄接口的儀表配套(tao)。不同的标準信号(hào)也可🌏借助于轉換(huan)器互相轉換。例如(rú)利用氣/電轉換器(qi),能把20~100 kPa的空氣壓力(li)轉換成0~10mA的直流電(dian)流。 
    位式作用和連(lián)續作用:    
    位式作用(yòng),也稱爲開關作用(yòng),即傳感器在輸入(ru)變量整🧑🏾‍🤝‍🧑🏼個變化範(fàn)圍内其輸出相應(ying)隻有兩種狀态,例(li)如空氣狀态的“高(gāo)🏒”和“低”。
    位式作用的(de)傳感器多用于被(bèi)測變量的超限報(bao)警、連鎖保💰護、順序(xu)控制。例如我們的(de)壓力開關。
    需要連(lián)續檢測或調節某(mǒu)些變量時,就必須(xu)用連續作用的傳(chuan)❄️感器或變送器。
    長(zhang)野的變送器中所(suo)使用的傳感器SS—蒸(zhēng)發型半導體應✨變(bian)✌️片的特點:    
   (1)相對于(yu)粘貼式和擴散式(shi)技術。
   (2)其可測壓力(lì)範圍 -0.1~0.3MPa;0~200MPa 。
   (3)具有耐用性(xìng)和穩定性。
    半導體(tǐ)應變片的制作方(fāng)法:粘貼方式、蒸發(fā)方式、擴散方式。 
    長(zhǎng)野的變送器,如KM31、KM10 等(děng),其半導體應變片(pian)部分、感應元件(不(bú)鏽鋼隔膜)以及壓(yā)力接口部分通過(guo)焊接連接成一體(tǐ),具有很高的穩定(dìng)性和可靠性,抗震(zhen)性和抗沖擊性良(liang)好。
     蒸發式半導體(ti)應變片的具體制(zhì)作方式如下:       
   (1)在不(bú)鏽鋼隔膜上使用(yong)CVD等離子沉澱一層(ceng)SiO2絕緣膜
   (2)在SiO2絕緣膜(mo)上再沉澱一層多(duō)晶矽。
   (3)在多晶矽上(shàng)使用激光蝕刻,應(yīng)變片成型 。
   (4)用電子(zi)束照射蒸鍍,配上(shang)金制電極。
   (5)再使用(yòng)CVD等離子沉澱一層(ceng)SiNx保護膜。
 
    根據傳感(gan)器或變送器的安(an)裝場所有無易燃(ran)易爆氣體及危🔞險(xian)⁉️程度,選擇隔爆型(xing)及本安型。    
   (1)隔爆型(xing)在内部電路和周(zhou)圍易燃氣體之間(jiān)采取了🐪隔離措施(shī),允許使用在有一(yī)定危險性的環境(jing)裏 。
   (2)本安型即本質(zhì)安全型的簡稱,依(yī)靠設計的電路保(bǎo)💘證在正常工作及(ji)故障(意外短路或(huò)斷路)狀态下都😘不(bú)會引起燃爆事故(gù),可用🛀🏻在十分易燃(ran)易爆的場所。

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